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第138章 MOCVD（第1页）

奉天科仪，三楼大会议室

“怎么样？小陈同学休息好了吗？”刘民学厂长关心的问道。

“我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长，再加上休息不好。眯一会就好了。”

“那就好。那就好。”科仪的几位科长，都长长舒了一口气。

在参观的过程中，陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们，心都悬了起来。他们搞不清楚，陈泉的脸色差，是因为身体原因，还是单纯的不满。

“希望这次意外，不会影响到对我们厂的评价。”

刘厂长还是有些不放心。

“没事，陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小，底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛，恢复得也快。不要介意。”

“那好，让我重新介绍吧。”

刘民学咳嗽了一声，吸引了所有人的注意。

创建于1958年的奉天科仪，属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代，有过辉煌的历史。

随着国门的打开，在进口产品的降维冲击下，奉天科仪的形式急转直下。

随着价格双轨制的取消，这两年奉天各企业的经济形势普遍向好，所以奉天科仪也在积极转型，例如进军农业机械市场，但效果越来越差。

......

“不知道，我们的这些介绍，是否足够详细？”刘民学厂长最后问。

“不错，不错。够了，够了。”

王湛已经在奉天两天了，对科仪的印像很是不错。

除了厂家本身的实力，也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远，沟通不方便。不说时间上的浪费，长途火车票也是紧俏物资的一种，不是想买就能买到的。

“在MOCVD领域，你们有什么积累吗？”

陈泉突然问到。奉天科仪的介绍，始终围绕着PVD（物理气相沉积）类产品进行。

“MOCVD？”

刘民学有点意外，然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域，他并不熟悉。

“据我所知，MOCVD（金属有机化学气相沉积）技术并不成熟，市面上好像还没有类似的产品吧。”

王青山有点不太确定。

MOCVD是从VPE（气相外延生长）基础上发展起来的新技术。

在MOCVD技术中，反应气体在高温下结合，形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应，形成材料和化合物半导体的外延。

不同于传统的硅半导体，这些半导体可以包含的组合III族和V族，II族和VI族，IV族或第IV族，V和VI族的元素。

MOCVD相关理论提出得很早，但真正走入实际验证，不过是近几年的事情。有一些厂家，自行改造定制MOCVD，但相关技术和产品，远远没有成熟到可以商用的程度。

“你想在MEMS中，弃用PVD，转用MOCVD设备？”王湛听到消息，也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗？MEMS工艺要做大的修改吗？”

“嗯，怎么说呢......”

陈泉陷入了沉思。

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