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第503章 时间就是金钱特种气体之难（第1页）

西蓉北郊。

西南特种电气工业公司。

虽然六月末的西蓉，天气十分酷热。

但为了热烈欢迎，远道而来的樱花半导体考察团。

身为公司总经理的汪学斌。

还是无惧炎热，带着公司高层，在办公楼前列队等候。

之所以如此热忱。

当然因为他对这一次的合作交流，抱有非常大的期望。

公司虽然从事工业气体研制生产很多年。

但过去市场需求有限、销售业绩不高，也不太可能下大力气进行相关技术研究。

谁也没想到……

这两年龙国的制造业，像是坐上了火箭似的，增长势头无比迅猛。

金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导体、医疗器械……

因为工业生产中不少环节，是不能直接暴露于空气之中，需要特殊气体参与反应。

所以制造业越发达，对工业气体的需求量就越大。

如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。

汪学斌还不至于那么头疼。

毕竟这些常用工业气体的加工制备，技术工艺早就相对成熟。

可问题是……

龙国的电子信息产业，发展速度太迅猛了。

为了追求高精度、高质量、高性能，电子信息产业，对工业气体不仅需求量很大，要求还很高。

哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气，纯度都要比食品工厂的高很多。

于是乎。

有关部门就将工业气体，分成了大宗气体和特种气体这两大类。

将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务，从公司剥离了出去。

让公司专门负责，研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。

这个任务，真是光荣又艰巨啊！

光荣在于研制特种气体，有力支撑龙国的高端制造业发展，是利国利民的一件大好事。

艰巨在于特种气体，是真不好研制。

就拿生产芯片来说。

从最开始制造硅片，将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆，就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。

而开始进行光刻加工的时候，需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。

刻蚀清洗，除了常用的几种特种气体，还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。

离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。

林林总总加一起。

要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。

需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。

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