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第248章 晶圆厂流片（第1页）

9月10日，华芯晶圆厂大E首次正式流片，董事会高层出席，由于大E仍处在保密阶段，现场并不像之前大d流片时那般热闹，路阳、周怀义、于永锋、蔡伟青、温天洋出席仪式。

路阳遇袭的消息逐渐传开，当工程师们见到路阳时，眼神中充满敬佩。

温天洋作为晶圆厂的第一任厂长，亲自主持仪式。

“同志们，这是注定被历史铭记的一刻，而你们，是历史的创造者，这5条大E生产线，将正式宣告华国在半导体芯片领域已经追上来了，不过，由于特殊的原因，今年，我们并不会对外宣布。”

“下面有请张老，路总共同揭幕。”

路阳走到张老面前，与老人一起揭掉挂在牌子上的红绸，笑道，“张老，辛苦您了，由您来启动吧！”

张老脸上挂着幸福的笑容，他等这一天太久了，“小路，我也算完成使命了，接下来就交给你们了。”

按下开关，生产线正式启动。

华芯大E生产线第一期共计10条，首次流片制程为5纳米，使用的是麒临9000h，与苏硅不同，这边的人更少，每条线的工作人员不到100人，而超净间里的工作人员也只有20人左右，其他的都是自动化设备。

看着面前洁白的设备，“真美啊，特别是设备上显眼的华芯LoGo以及hx-EUV2035型号的字样，而自己是其中的参与者，这是多么值得骄傲的事情。”

这次流片，大家都轻松许多，毕竟已经在申城微电子做过一次了，出问题的可能性不大，现在主要看的是良品率。

申城微电子董事长贺兆国心中情绪万千，在他看来，大E是在廖老主持下研发的，廖老也是申城微电子的人，而最终申城微电子那边只建了两条大E的生产线，今年只能内供，还不能对外宣传。

说一点怨言都没有，那是不可能的，觉得上面太偏爱华芯了，直到了解路阳遇袭的经过，他才切实感受到，这已经不是什么商业竞争，而是国家战略问题了。

“路总，恭喜华芯，有这5条生产线，我们的大盘算是稳住了，中芯那边最近追加了5台大E，听说首批交货是2台，10月份运到，比我们还要晚2个月。”

路阳明白对方的意思，笑道，“贺总，应该是同喜才对，不用急，比起国家的战略，这点得失算不上什么，我们还需要时间，今年如果大E公布确实能对企业有帮助，但却让上面失去了操作的空间。”

于永锋与蔡伟青对视了一眼，他们当然明白申城微电子的想法，就凭大E的消息，申城微电子股价必定大幅提升。

“贺总，听说申城微电子的镜片厂已经开始投产了？产能如何？”

贺兆国苦笑着摇摇头，“哎，镜片这东西太难了，拉满产能，每个月最多能供应3台，镜片的良品率还不到70%，这方面路还长，我们跟蔡司差距仍然很大。”

镜片产能决定大E产能，目前华国能提供大E镜片的也就长春光学、华芯与申城微电子三家，现在所有的镜片都集中在华芯微电子，加班加点的生产，直到9月初，才生产出10台，华芯这边拿了5台，其他的都被送到了相关科研机构。

华微余跃有事没事就打电话给路阳，想先弄一台过去，毕竟建好产线到最终正式量产仍需时间。

路阳表示他也没办法，今年的大E供应，决定权不在华芯手上。

结果不出预料，甚至比预估的还要理想许多，hx-EUV2035的5纳米制程良品率在78%。

众人纷纷向张老祝贺，不愧是建厂达人，这么短时间，把产线建好，还能做到这么高的良品率，全世界估计都找不到一人能超过他。

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